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深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

當前位置：深圳市中圖儀器股份有限公司>>粗糙度儀>>表面粗糙度測量儀>> BOKI_1000粗糙度測量設備

粗糙度測量設備

參  考  價： ￥ 536000

訂  貨  量： ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號:BOKI_1000

品       牌:中圖儀器

廠商性質:生產商

所  在  地:深圳市

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更新時間：2025-03-08 16:41:27瀏覽次數：1243次

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羅健

經理
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產地 國產 加工定制 否
Bump是一種金屬凸點，從倒裝焊FlipChip出現就開始普遍應用，Bump的形狀有多種，最常見的為球狀和柱狀，也有塊狀等其他形狀，下圖所示為各種類型的Bump。粗糙度測量設備

粗糙度測量設備應用

在半導體行業(yè)中，Bump、RDL、TSV、Wafer合稱先進封裝的四要素，其中Bump起著界面互聯(lián)和應力緩沖的作用。

Bump是一種金屬凸點，從倒裝焊FlipChip出現就開始普遍應用，Bump的形狀有多種，最常見的為球狀和柱狀，也有塊狀等其他形狀，下圖所示為各種類型的Bump。

Bump起著界面之間的電氣互聯(lián)和應力緩沖的作用，從Bondwire工藝發(fā)展到FlipChip工藝的過程中，Bump起到了至關重要的作用。隨著工藝技術的發(fā)展，Bump的尺寸也變得越來越小,從最初 Standard FlipChip的100um發(fā)展到現在最小的5um。
伴隨著工藝技術的高速發(fā)展，對于Bump的量測要求也不斷提高，需要把控長寬尺寸，高度均勻性，亞納米級粗糙度、三維形貌等指標。
以粗糙度指標為例，電鍍工藝后的Cu 凸點表面粗糙并存在一定的高度差，所以鍵合前需要對其表面進行平坦化處理，如化學機械拋光(CMP)，使得鍵合時Cu 表面能夠充分接觸，實現原子擴散，由此可見把控Bump表面粗糙度是必*過程。
為了貼合工藝制程，積極響應客戶Bump 計量需求，中圖儀器以高精度、多功能合一等優(yōu)勢將自研量測設備推向眾多優(yōu)質半導體客戶。BOKI_1000系統(tǒng)支持鍵合、減薄、翹曲和切割后的基板，可以為包括切割后、預鍵合、銅焊盤圖案化、銅柱、凸塊（Bump）、硅通孔（TSV）和再分布層（RDL）在內的特征提供優(yōu)異的量測能力。
圖片
以上為量測Bump時的實時圖像

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